郝萍

上海市计量测试技术研究院

摘　要：采用高分辨电感耦合等离子质谱仪检测二氧化硅抛光液中金属杂质元素，通过调节元素分辨力，选择适合的同位素进行检测，可有效解决质谱干扰问题。采用标准加入法稀释样品检测金属杂质含量的方法，10 μg/kg 加标回收率为 81.17% ～111.79%，可以实现对二氧化硅抛光液中多金属杂质的快速分析。 

关键词：高分辨电感耦合等离子体质谱仪 ；金属杂质 ；标准加入法 ；二氧化硅抛光液

基金项目：国家市场监督管理总局科技计划项目（2021MK033）