陈婉如  赵士桢  陆瑾  金善益

上海市计量测试技术研究院有限公司

摘　要：基于电磁兼容的现场辐射发射检测方法，搭建了一套适用于大型电子设备的电磁兼容现场测试分析系统，以解决光刻机分系统因体积庞大、无法在暗室中测试的问题，为考察光刻机分系统的电磁兼容性能、光刻机分系统电磁兼容测试系统设计与检测规范制定提供技术支撑。 

关键词：光刻机分系统 ；电磁兼容 ；辐射发射

基金项目：上海市市场监督管理局科技计划项目（2023-20）