李智玮　常燕

上海市计量测试技术研究院有限公司

摘　要： 研究基于 SEMI 标准方法，系统评估了 PFA（四氟乙烯 - 全氟烷氧基乙烯基醚共聚物）材料中金属元素的析出特性。实验采用超纯水和质量浓度为 2% 硝酸两种介质，考察了不同金属元素在浸泡过程中的析出动力学特征。结果表明，在超纯水环境中，碱金属及碱土金属元素（Na、K、Ca 等）析出较快，3 d 后出现加速析出现象；过渡金属元素（Fe、Co、Ni 等）析出较缓慢，14 d 后基本达到稳定状态。在 2% 硝酸介质中，大部分金属元素在 7 d 后停止析出。该研究为 PFA 材料在高纯化学品存储、半导体制造及生物医药等特定领域的应用安全性提供了重要数据支持，对保障最终产品纯度和性能具有实际指导意义。 

关键词：　四氟乙烯 - 全氟烷氧基乙烯基醚共聚物材料 ；金属离子析出 ；标准 ；高纯应用

基金项目：国家市场监督管理总局科技计划项目（2024MK026）